December 11, 2017
1. Engasgar o depósito é o depósito das partículas vaporizadas de uma superfície, que seja chamada “engasgar o alvo,” pelo processo físico engasgar.
2. engasgar físico é um processo nonthermal da vaporização onde os átomos da superfície sejam ejetados fisicamente por transferência de impulso de uma partícula de bombardeamento energética, que seja geralmente um íon gasoso acelerado de um plasma.
3. o depósito do salpico pode ser pré-formado em um vácuo ou em um gás de baixa pressão (< 5="" m="" Torr="">
Vantagens do depósito do salpico
1. Os elementos, as ligas, e os compostos podem ser engasgados e depositado.
2. O alvo engasgar fornece uma fonte estável, duradouro da vaporização.
3. Em algumas configurações o alvo engasgar fornece uma fonte da vaporização da grande área que possa ser de toda a forma.
4. Em algumas configurações a fonte engasgar pode ser uma forma definida, tal como uma linha ou um segmento de um cone.
5. No depósito reativo de algumas configurações pode facilmente ser realizado usando as espécies gasosas reativas que “são ativadas” em um plasma (isto é “depósito reativo do salpico ")
Desvantagens do depósito do salpico
1. Engasgando as taxas são comparadas baixo àquelas que podem ser alcançadas na evaporação térmica.
2. As propriedades do filme dependem da “ângulo--incidência” do fluxo do material de depósito e em baixas pressões a quantidade de bombardeio dos pontos mortos alta-tensão refletiu do alvo engasgar.
3. Em muitas configurações a distribuição de fluxo do depósito é nonuniform, exigindo fixturing para randomize a posição das carcaças a fim obter filmes da espessura e de propriedades uniformes.
4. Engasgando os alvos são frequentemente caros, e a utilização material pode ser pobre.
5. Na contaminação gasosa de algumas configurações não é removido facilmente do sistema, e as contaminações gasosas “são ativadas” no plasma, assim fazendo a contaminação do filme mais de um problema do que na evaporação do vácuo.
6. Em algumas configurações radiação e bombardeio do plasma ou do alvo engasgar pode degradar a carcaça.
7. O depósito do salpico é amplamente utilizado depositar a metalização de fita fina no material do semicondutor, nos revestimentos no vidro arquitetónico, em revestimentos reflexivos em compacts disc, em filmes magnéticos, em lubrificantes do seco-filme, e em revestimentos decorativos.
Engasgando métodos
Engasgar da C.C./MFSputtering
Equilíbrio que engasga/engasgar de Unbalaced
Engasgando o sistema de revestimento
Trate os coaters e a Em-linha que engasgam o sistema de revestimento para revestimentos baixos-e, de ITO do filme no vidro, no filme etc. do ANIMAL DE ESTIMAÇÃO.
