Tântalo PVD que engasga a máquina de revestimento, filmes do tântalo depositados pelo magnétron que engasga, chapeamento da C.C. do tântalo de PVD
O tântalo é o mais amplamente utilizado na indústria eletrônica e como um revestimento protetor em muitas indústrias devido a sua boa resistência à erosão.
Os filmes engasgados do tântalo são amplamente utilizados no
1. a indústria da microeletrônica como os filmes podem reactivamente ser engasgados e assim o coeficiente da resistividade e de temperatura da resistência podem ser controlados;
2. Instrumentos médicos como implantes do corpo para sua altamente propriedade do biocompatability;
3. revestimentos em partes resistentes à corrosão, tais como thermowells, corpos de válvula, e prendedores;
O tântalo engasgado pode dever igualmente ser usada como uma barreira eficaz da resistência de corrosão se o revestimento é contínuo, defectected e é aderente à carcaça é pretendido proteger.
Vantagens RTAS1000 técnicas
1. Sistema de projeto integrado de encaixe para a instalação rápida
2. PLC de Siemens, processador central; com hardware industrial da operação & do controle do PC
3. Disponível para a monitoração remota e o diagnóstico.
4. flexível, apronte promovendo
5. Cátodos múltiplos para a velocidade rápida do depósito
Mais benefícios da máquina:
Projeto robusto, qualidade estável, ciclo rápido, tempo de ciclo rápido, velocidade alta do depósito
| Configurações principais | |
| MODELO | RTAS1000 |
| TECNOLOGIA | Magnétron da C.C. que engasga + chapeamento catódico do arco |
| MATERIAL DA CÂMARA | De aço inoxidável (S304) |
| TAMANHO DA CÂMARA | Φ1000*1000mm (h) |
| TIPO DA CÂMARA | Forma de D, câmara cilíndrica |
| CREMALHEIRA DA ROTAÇÃO & SISTEMA DO GABARITO | Condução satélite ou sistema de condução central |
| FONTES DE ALIMENTAÇÃO | C.C. que engasga a fonte de alimentação: 2~4 grupos inclinam a fonte de alimentação: 1 fonte de alimentação ajustada do arco: 11 grupos |
| MATERIAL DO DEPÓSITO | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, AG, Cu etc. |
| FONTE DO DEPÓSITO |
Cátodos planares engasgar + cátodos circulares do arco Observação: o salpico cylinderial da C.C. está disponível |
| CONTROLE | PLC (controlador programável da lógica) + tela táctil (modelos de operação de manual+ auto+ semi-auto) |
| SISTEMA DE BOMBA | Vane Pump giratória: SV300B - 1 grupo (Leybold) |
| As raizes bombeiam: WAU1001 - 1 grupo (Leybold) | |
| Guardando a bomba: D60C - 1 grupo (Leybold) | |
| Bomba molecular da suspensão magnética: MAG2200 - 2 os mais sest (Leybold) | |
| INTOXIQUE O CONTROLADOR DO FLUXO MACIÇO | 4 canais, feitos em China, modelo digital de sete estrelas (série do CS,) (AR, N2, O2, C2H2) |
| CALIBRE DE VÁCUO | Modelo: ZDF-X-LE, feito em China |
| SISTEMA DE SEGURANÇA | Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipmen |
| AQUECIMENTO | Calefatores: 20KW. Temp do máximo.: 450℃ |
| REFRIGERAR | Refrigerador industrial (água fria) |
| MÁXIMO DO PODER. | 100KW (aproximadamente) |
| CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA | 45 quilowatts (aproximadamente) |
| PESO DE EFETIVAÇÃO | T (aproximadamente) |
| CÓPIA DO PÉ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILÍMETRO |
| PODER ELÉTRICO | Linha phases/50HZ/5 da C.A. 380V/3 |
Cátodos cilíndricos engasgar Cátodos planares engasgar
Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções de revestimento totais.
Transfira o folheto, clique-o por favor aqui: Magnétron que engasga o depósito System.pdf
Magnétron que engasga o applicatio do sistema do depósito…
