ITO Film Coating Machine, tipo magnétron do banho do filme de ITO engasgando o Coater/vidro ITO Deposition Machine
Aplicações padrão de ITO Film Coating Machine: ANIMAL DE ESTIMAÇÃO, vidro, para gerar camadas de revestimento de ITO.
Tempo construído máquina: 2012, China.
Aplicação: Filme da AR, filme de ITO.
Partes do trabalho:
Tamanho: 300mm*100mm
Espessura do ANIMAL DE ESTIMAÇÃO: 0.175mm+/-0.05mm
*Thickness de ITO Film: 185nm+/-5nm
Resistência de folha: 6~8ohm/sq
Configurações técnicas de ITO Film Coating Machine:
1) C.C. que engasga fontes: Cu, Al, ITO
2) MF que engasga fontes
3) Grupo molecular da bomba do turbocompressor + da bomba do revestimento protetor
4) Campo magnético da alta intensidade para melhorar a qualidade do filme de ITO, taxa de utilização >30% do alvo
5) Cu, Al, taxa de utilização dos alvos do si > 35%
6) Taxa de depósito: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) Engasgando a área da uniformidade: 350mm
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