Máquina de metalização a vácuo de espelhos automotivos / alumínio, sistema de metalização a vácuo de espelhos automotivos cromados
Introdução à máquina de metalização a vácuo de espelho de carro
A máquina possui 2 técnicas: fonte de evaporação térmica e fonte catódica de magnetron sputtering.Que é flexível para diferentes aplicações de espelhos.
O magnetron sputtering é um processo de revestimento de plasma pelo qual o material de sputtering é ejetado devido ao bombardeio de íons na superfície do alvo.A câmara de vácuo da máquina de revestimento PVD é preenchida com um gás inerte, como o argônio.Ao aplicar uma alta voltagem, uma descarga de brilho é criada, resultando na aceleração de íons para a superfície do alvo e um revestimento de plasma.Os íons de argônio ejetarão materiais pulverizados da superfície do alvo (sputtering), resultando em uma camada de revestimento pulverizada nos produtos na frente do alvo
A fonte de evaporação térmica é filamento de tungstênio para evaporação Cr ou Al e obter camada de cromo/alumínio no vidro para formar mirrros de alta reflexão.
Geralmente, magnetron sputtering para sputter o cromo, materiais de aço inoxidável;Al e Cu são depositados com fontes de evaporação térmica.
Características da máquina de metalização a vácuo de espelho de carro
1. A câmara de vácuo é uma estrutura de porta única do tipo vertical feita de aço inoxidável.Tamanho da câmaraΦ1400~2500mm
2. O sistema de vácuo é composto por bomba mecânica, bomba de raízes e bomba de difusão.
3. Sistema de revestimento para coluna de 10~28 arcos ou 1~4 arcos ou arco plano.
4. Fonte de alimentação de polarização de pulso de alta potência.
5. O sistema de inflar tem 1~4 conjuntos de instrumentos de controle de fluxo de massa e um display de fluxo de gás.
6. O sistema de controle elétrico está equipado com dispositivos de alarme sonoro e luminoso para sobrecarga do circuito, corte de água e corte de ar.
7. O sistema de controle (tela sensível ao toque + PLC) exibe parâmetros detalhados em tempo real e controla todo o processo de produção de forma totalmente automática no modo de funcionamento automático.
Modelos de máquina de metalização a vácuo de espelho de carro
Modelo de sistema | RTEP1200-SPDC | RTEP1400-SPDC | RTEP1600-SPDC | |
Tamanho da Câmara | Diâmetro | 1200 milímetros | 1400 milímetros | 1600 milímetros |
Altura | 1400 milímetros | 1600 milímetros | 1800 milímetros | |
Principal atuação |
Pressão Final | 10-4Pa | ||
Pressão de Operação | De 1 ATM a 5x10-5 Pa em 15 minutos (Sem carga) | |||
Ver janelas | Definir | 1 | ||
Número de Filamentos |
Pçs | 18~22 | 20~24 | 20~26 |
Bombeamento Sistema |
Grau anterior bombear |
70 L/S | 150 L/S | 150 L/S |
Bomba de raízes | 600L/S | 1200L/S | 1200L/S | |
Bomba de Difusão | 17500L/S | 30000L/S | 60000L/S | |
Bomba de retenção | 30 L/S | |||
Sistema de Monitoramento de Camadas | Monitor de cristal | Sensor único/cabeça do sensor de seis peças | ||
Medidor de Vácuo | 1 ATM ~ 10-4 Pa | |||
Caixa de controle | Definir | 1 | ||
Evaporação Fonte de energia |
30KW | 35KW | 50KW | |
Alvo de pulverização | Pçs | 2~4 | ||
Evaporação Fonte de energia |
RF ou DC | |||
Operação de sistema | Automático/Manual | |||
Água de refrigeração quociente de vazão |
100 L/min | 120 L/min | 150 L/min | |
Alto Vácuo Válvula |
24 polegadas | 36 polegadas | 36 polegadas | |
Válvula de desbaste | 6 polegadas | 6 polegadas | 8 polegadas | |
Válvula Foreline | 6 polegadas | |||
Válvula de vazamento | 2 polegadas | |||
Válvula de retenção (opção) |
1 polegada | |||
Torre de refrigeração | 15 RT (Pressão da Água: 4kg/cm2; Queda de Pressão: 2kg/cm2) | |||
Água de refrigeração | Entrada: 18℃;Saída: 25℃;Padrão: 20±1℃ | |||
Sistema de Controle Elétrico | PLC | |||
Poder total Requerimento |
75KW | 85KW | 95KW | |
Meio Ambiente Requerimento |
Sala Limpa Classe 100.000;Piso epóxi;Ar condicionado;Temp.25±3℃;HUM50±10 |
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