Equipamento do depósito do metal do vácuo do elevado desempenho, metallizer do vácuo de CsI pelo cadinho térmico
Palavras-chaves: alta resolução, CsI: T1; filmes finos do scintillator; Imagem latente do raio X; método do depósito de vácuo, cargo-depósito da camada do carbono
O depósito do filme fino de CsI para dispositivos de imagem latente do raio X é uma técnica avançada para evaporar CsI na tela para dar um de alta qualidade da imagem latente. Com seu desempenho de alta resolução, também amplamente utilizado na verificação e na inspeção da segurança, nos assuntos da física do de alta energia, na física das áreas etc. da energia nuclear.
O sistema de revestimento térmico da evaporação RTEP0913 foi desenvolvido para o depósito do filme de CsI na imagem latente do raio X no ambiente da pressão do vácuo alto. Os scintillators do T1 de CsI que variam do μm 2 ao μm 14 na espessura. O filme da camada do carbono pode ser considerado como o cargo-depósito para melhorar altas resoluções.
Desempenho e caracterizações do depósito de vácuo do iodeto do césio (T1 de CsI)
Tipo:
l orientação vertical, cilindro, 1 porta, abertura dianteira.
Características de projeto:
l pressão final Ultra-alta do vácuo: até Pa 9.0*10-5;
l do aquecimento dispositivos rápidos acima para uma boa adesão;
l sistema apropriado da seleção e de bombeamento da bomba de vácuo alto a evitar para arriscar material exposto no ar;
sistema robusto, compacto e contínuo de l de revestimento;
l estabilidade alta, trabalhando 960 horas sem parada.
l dispositivo do controlador da espessura de filme de Inficon para monitorar inline a espessura de filme.
l exclusivamente cadinhos projeta e seleção para o depósito de CsI.
l carcaças que revestem, tamanho máximo: 500*500mm
l avançou conceitos de projeto da cremalheira pode carregar carcaças de 2 partes pelo grupo, aumenta altamente a saída da produção.
Especificações técnicas:
l desempenho
1. pressão final do vácuo: melhor do que Pa 9.0*10-5;
2. pressão de funcionamento do vácuo: Pa 6,0*10-4 ~ Pa9,0*10-4;
Pressão baixa do vácuo: Pa 3,0*10-4
3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: ≤ do Pa 1 atm a 2,0×10-325 câmaras limpo e vazio dos minutos (temperatura ambiente, seco,)
4. Fonte do depósito: evaporação térmica do cadinho de quartzo
5. Modelo de funcionamento: Completamente automaticamente /Semi-Auto/ manualmente
6. Aquecimento: da temperatura ambiente até 1000℃ máximo,
Carcaça de vidro de TFT que aquece acima o tempo: de 0~250℃<40mins>
7. Taxa de depósito de CsI: 0~100nm/sec
8. CsI: Espessura de filme T1: até 600μm
l estrutura
A máquina de revestimento do vácuo contém terminado o sistema chave alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Diâmetro interno 900milímetros
Altura interna: 1300 milímetros
1,2 material: Câmara de vácuo SUS304
Porta e flanges SUS304
A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.
Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.
1,3 protetor da evaporação: SUS304
1,4 janela da vista: na porta da câmara
1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)
1,6 porta: Material SUS304
2. Sistema de bombeamento Roughing do vácuo:
A bomba + as raizes giratórias de vácuo da aleta do óleo bombeiam (Alemanha Pfeiffer)
3. sistema de bombeamento do vácuo alto:
Bomba molecular da suspensão magnética (Alemanha Pfeiffer)
4. Tela táctil elétrico do sistema PLC+ do controle e da operação
4,1 circuito principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 poder da evaporação
4,3 sistema de controlo da evaporação
4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento
4,5 sistema de medição
Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa
Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
Controlador da espessura de filme: Tipo de Inficon, SQC-310
4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador atual da carga
5. sistema do depósito
5,1 fonte do depósito: cadinho de quartzo
5,2 material do depósito: CsI, carbono
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água
Ambiente de trabalho
Ar comprimido: 5~8kg/cm2
Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 65kVA, consumo de potência média: 30KW
Área da instalação: (L*W*H) 3000*200*2300milímetros
Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas
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