Máquina de revestimento indutiva da evaporação
Sumário:
O aquecimento de indução é amplamente utilizado nos campos diferentes devido à produtividade e à universalidade altas do processo, na limpeza e na possibilidade de automatização completa. Como um método da tecnologia térmica da evaporação de PVD, o processo é amigável para o ambiente. Desde que a indução reserva alcançar a temperatura de 2000℃ e de mais, este método é muito apropriado para a produção industrial e as pesquisas científicas.
A máquina de revestimento da evaporação da indução RTEP0404 é projetada para o depósito C60 de evaporação varia sobre dos materiais. C60 fabrica fornece o R&D e os resultados de testes para em perspectiva. Uma ferramenta forte que ajuda a lhes a expandir indústrias aplicadas novas.
O primeiro grupo é produzido para a universidade de Shanghai. O modelo da produção industrial está sob o processamento.
Aplicações principais:
Para depositar sobre camadas e revestimentos do filme fino
Tipo:
Orientação vertical, modelo do frasco de Bell, abertura superior
Características de projeto:
Especificações técnicas:
1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 9.0*10-5;
Pressão baixa do vácuo: Pa 3.0*10-4
3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: de 1 atm aos minutos de 2.0×10-3 Pa≤25 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Fonte do depósito: evaporador da indução, cadinho
5. Modelo de funcionamento: Manualmente
6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 1000℃,
7. Poder da evaporação: Radiofrequência do RF e fonte de alimentação
8. Gás de trabalho: AR
A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Diâmetro interno 400mm
Altura interna: 400mm
1,2 material: Câmara de vácuo SUS304
A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.
Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.
1,3 protetor da evaporação: SUS304
1,4 janela da vista: na porta da câmara
1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)
2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de aleta giratória do óleo de duas fases
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto: Bomba molecular do turbocompressor
4. Unidade elétrica da operação do sistema HMI do controle e da operação
4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 poder da evaporação
4,3 sistema de controlo da evaporação
4,4 sistema da operação: PLC
4,5 sistema de medição
Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre
4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga
5. sistema do depósito
5,1 fonte do depósito: evaporador do thermal da indução
5,2 material do depósito: C60
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água
6,3 gás de trabalho: AR (>99.99%)
7. Ambiente de trabalho
Ar comprimido: 5~8kg/cm2
Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo de potência média: 3kVA
Área da instalação: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas
Automaticamente puxando a unidade de Up-Down para abrir/próximo a câmara
Sistema bonde do cerco:
Pontas da segurança:
Proteção de Shileding da radiação do RF
Nós fomos esforçamo-nos projetar e para desenvolver o sistema de revestimento o mais apropriado que encontram nossa qualidade alta da eficiência e do revestimento da produção do cliente pede.
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