Cobre/alumínio/carbono que engasga o equipamento, magnétron do vácuo alto que engasga o sistema do depósito
UHV que engasga o sistema do depósito usa os cátodos engasgar como as fontes do depósito de PVD. Comibled sempre o salpico do MF e os salpicos da C.C. para aplicações indstrial do revestimento de PVD. Baseado em alvos diferentes e em engasgar os pedidos da velocidade do depósito, a tecnologia real fornece salpicos cylidrical e cátodos planares do salpico, principalmente para que as taxas de depósito rápidas satisfaçam a procura do revestimento da produção industrial.
O magnétron do vácuo alto que engasga o sistema do depósito é projetado para o cobre, alumunium, plástico, chapeamento condutor da camada do filme da placa de circuito do metal. Pode condensar o filme fino Nano em carcaças. Exceto o AG que engasga, pode igualmente depositar Ni, Au, AG, Al, Cr, alvos de aço inoxidável.
Pode filmes altos da uniformidade do deposite em várias carcaças: o panle plástico, panle do PC, folha de alumínio, folhas cerâmicas, Al2O3 cerâmico, AlN, silicone cobre etc.
RTSP1215 que engasga a disposição do equipamento do revestimento
Série de RTSP que engasga aplicações do equipamento do revestimento:
1. Disponível em carcaças de: Folhas do plástico, do polímero, as de vidro e as cerâmicas, folha de aço inoxidável, de cobre, placa de alumínio etc.
2. Para gerar o filme Nano goste: Lata, tique, TiCN, Cr, centro de detecção e de controlo, CrN, Cu, AG, Au, Ni, Al etc.
Série de RT-SP que engasga características de projeto do equipamento do revestimento:
1. Projeto robusto, bom para espaço limitado da sala
2. Acesso fácil para a manutenção e o reparo
3. Sistema de bombeamento rápido para o rendimento alto
4. O cerco bonde padrão do CE, padrão do UL está igualmente disponível.
5. Obra exata da fabricação
6. Corredor estável para garantir a produção de alta qualidade do filme.
A fonte de íon é original da empresa de Gencoa, as propriedades:
1. Campo magnèticos aperfeiçoados para produzir um feixe colimado do plasma no padrão que engasga pressões
2. Regulamento automatizado para que o gás mantenha a corrente & a tensão constantes – controle do automóvel do multi-gás
3. Ânodo e cátodo da grafite para proteger a carcaça da contaminação e para fornecer componentes da longa vida
4. Isolação elétrica padrão do RF em todas as fontes de íon
5. Refrigerar indireto do ânodo e do cátodo – interruptor rápido das peças
6. Interruptor fácil das peças do cátodo para fornecer armadilhas magnéticas múltiplas para a operação de mais baixa tensão, ou um feixe focalizado
7. A tensão regulou a fonte de alimentação com feedback do ajuste do gás para manter a mesma corrente em todas as vezes
Magnétron do vácuo alto que engasga especificações técnicas do sistema do depósito:
| MODELO | RT1215-SP |
| MATERIAL | De aço inoxidável (S304) |
| TAMANHO DA CÂMARA | Φ1200*1500mm (h) |
| TIPO DA CÂMARA | estrutura 1-door, vertical |
| ÚNICO PACOTE DA BOMBA | Bomba giratória de VaneVacuum |
| Bomba de vácuo de raizes | |
| Bomba molecular da suspensão magnética | |
| Bomba de vácuo giratória de duas fases da aleta | |
| TECNOLOGIA | Magnétron que engasga, fonte do MF de íon linear |
| FONTE DE ALIMENTAÇÃO | Engasgando a fonte de alimentação + fonte de alimentação + fonte de íon diagonais |
| FONTE DO DEPÓSITO | 4 pares do MF que engasga salpicos dos cátodos + da fonte + da C.C. de íon |
| CONTROLE | Tela de PLC+Touch |
| GÁS | Gás medidores de fluxo maciço (AR, N2, C2H2, O2) argônio, nitrogênio e Ethyne, oxigênio |
| SISTEMA DE SEGURANÇA | Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento |
| REFRIGERAR | Água refrigerando |
| LIMPEZA | Descarga de fulgor/fonte de íon |
| MÁXIMO DO PODER. | 120KW |
| CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA | 70KW |
