Que é magnétron que engasga a tecnologia?
Engasgar do magnétron é um outro formulário da tecnologia do revestimento de PVD.
Revestimento do plasma
Engasgar do magnétron é um processo do revestimento do plasma por meio de que engasgar o material é ejetado devido ao bombardeio dos íons à superfície do alvo. A câmara de vácuo da máquina de revestimento de PVD é enchida com um gás inerte, tal como o argônio. Aplicando uma alta tensão, uma descarga de fulgor é criada, tendo por resultado a aceleração dos íons à superfície do alvo e a um revestimento do plasma. Os argônio-íons ejetarão engasgar materiais da superfície do alvo (engasgar), tendo por resultado uma camada de revestimento engasgada nos produtos na frente do alvo.
Engasgar reativo
Frequentemente um gás adicional tal como o nitrogênio ou o acetileno é usado, que reagirão com o material ejetado (engasgar reativo). Uma vasta gama de revestimentos engasgados é realizável com esta técnica do revestimento de PVD. O magnétron que engasga a tecnologia é muito vantajoso para o revestimento decretive (nitretos por exemplo do si, do Cr, do Zr e do carbono), devido a sua natureza lisa. A mesma vantagem faz engasgar do magnétron amplamente utilizado para o revestimento tribológico em mercados automotivos (combinações andvarious por exemplo de CrN, de Cr 2N com o revestimento de DLC - diamante como o revestimento do carbono).
Campo magnèticos
Engasgar do magnétron é um tanto diferente da tecnologia geral engasgar. A diferença é que o magnétron que engasga a tecnologia usa campo magnèticos para manter o plasma na frente do alvo, intensificando o bombardeio dos íons. Um plasma altamente denso é o resultado desta tecnologia do revestimento de PVD.
Máximo que engasga o poder | |
Alvo de refrigeração indireto | > 20 watts/cm2 (C.C.) |
> 7 watts/cm2 (RF) | |
Tensão da descarga | 100 a 1500 volts |
Corrente de descarga | > 0,05 ampères/cm2 |
Pressão de funcionamento | Pa 0,05 a 5 |
Utilização do alvo | > 35% |
Alvo | |
Formulário | Planar retangular |
Espessura | 6mm~16mm |
Largura | 125mm |
A instalação | Interno/externo |
O magnétron que engasga a tecnologia é caracterizado perto: