Esta máquina é apropriada ao sistema de revestimento do vácuo da produção industrial. Equipa uma fonte grande da evaporação do íon do arco da planície do tamanho e pode filme duro do metal do elevado desempenho do deposite pela tecnologia da evaporação do arco, tal como a lata, o TiCN, o AlTiN e todos os tipos do outro filme especial de acordo com as exigências de cliente.
Esta máquina pode ser usada para das FERRAMENTAS DENTAIS da MÃO dos INSTRUMENTOS do PLÁSTICO O REVESTIMENTO TITANIUM COMPOSTO de ENCHIMENTO
Especificações da máquina de revestimento do filme fino
| MODELO | RTSP1010 | |||||||
| TECNOLOGIA | Magnétron do processo de PECVD que engasga + fonte de íon | |||||||
| MATERIAL DA CÂMARA | De aço inoxidável (S304) | |||||||
| TAMANHO DA CÂMARA | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
| TIPO DA CÂMARA | Câmara do octahedron regular, 2 portas | |||||||
| CREMALHEIRA DA ROTAÇÃO & SISTEMA DO GABARITO | satélite 6 (de 8), peso máximo: 400kgs | |||||||
| FONTES DE ALIMENTAÇÃO | Qty. de engasgar: Quilowatt 2*24 de viés da fonte de alimentação: a fonte de alimentação de 1*24W AE para a alimentação da fonte de íon da opção fonte 2 grupos, fonte de alimentação da AE para a opção | |||||||
| MATERIAL DO DEPÓSITO | Cr/C | |||||||
| FONTE DO DEPÓSITO |
2 pares (4 partes) que engasgam cátodos + 2 áreas de revestimento da fonte de íon: Dia800mm*H550mm; Área da uniformidade: ±10~15% |
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| CONTROLE | PLC (controlador programável da lógica) + tela táctil (modelos de operação de manual+ auto+ semi-auto) | |||||||
| SISTEMA DE BOMBA | Bomba de aleta giratória: SV300B - 1 grupo (Leybold) | |||||||
| Bomba das raizes: WAU1001 - 1 grupo (Leybold) | ||||||||
| Guardando a bomba: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Bomba molecular da suspensão do rotor de Magnetric: MAG2200 - 2 grupos (Leybold) | ||||||||
| CONTROLADOR DO FLUXO MACIÇO DO GÁS | 3 canais, feitos em América (tipo de MKS) | |||||||
| CALIBRE DE VÁCUO | Modelo: ZDF-X-LE, feito em China | |||||||
| Fonte de íon linear | 2 partes quetratam, limpeza do plasma + ajudaram ao depósito | |||||||
| SISTEMA DE SEGURANÇA | Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento | |||||||
| AQUECIMENTO | Calefatores: 20KW. Temp máximo.: 400℃ | |||||||
| REFRIGERAR | Refrigerador industrial (água fria) | |||||||
| MÁXIMO DO PODER. | 100KW (aproximadamente) | |||||||
| CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA | 45 quilowatts (aproximadamente) | |||||||
| PESO DE EFETIVAÇÃO | T (aproximadamente) | |||||||
| CÓPIA DO PÉ | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILÍMETRO | |||||||
| PODER BONDE | C.A. 380V/3 phases/50HZ | |||||||
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