Planta de revestimento por pulverização Ni PVD, sistema de metalização a vácuo Cr, equipamento de revestimento a vácuo Sn/Ag, planta de revestimento de cobre
Estrutura do Equipamento:
A máquina RTAC1215-SP é do tipo occal, que consiste em bombas de vácuo, câmara de vácuo que montou 8 cátodos de arco, 1 fonte de íons linear, 2 conjuntos de cátodos de pulverização DC e 1 par de cátodos de pulverização MF.A fonte de íons, os flanges montados nos cátodos de pulverização catódica são padronizados e podem ser trocados de forma flexível com base na demanda real do processo de revestimento.
Formulários:
1. Indústria DPC para peças de vedação de cerâmica, processo DPC, sistema de pulverização de cobre PVD, chips de cerâmica LED com chapeamento de tanoeiro, Al2O3, placas de circuito de cerâmica AlN, placas de Al2O3 em LED, semicondutor
2. Prata, Ni, Cromo, Ouro, Alumínio, In, Sn etc. Filmes metálicos e TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN etc.
Vantagens:
1. Produção econômica
2. Humanização do posto de trabalho (design ergonómico do posto de trabalho, minimização de espaço, ruído e perigo de acidente)
3. Rendimento de alta qualidade.
4. Forte adesão com potente dispositivo de aquecimento e limpeza da fonte de plasma;
5. Design compacto e de fácil acesso para trabalhos de atualização e manutenção.
6. Totalmente Automação, PLC+Touch Screen, sistema de controle de um toque.
7. Alta eficiência com menor consumo de energia, máx.50% de economia de custos de produção.
Especificações técnicas:
1. Pressão de vácuo final: melhor que 9,0*10-5Pa;
3. Tempo de bombeamento: de atm a 1,0 × 10-3Pa≤15 minutos (temperatura ambiente, câmara seca, limpa e vazia)
4. Fonte de deposição: cátodos de pulverização de magnetron Gencoa, cátodos de arco dirigido, fonte de íons
5. Modelo Operacional: Completo Automaticamente/Semi-Auto/ Manualmente
6. Aquecimento: desde a temperatura ambiente até máx.500℃,
9. Fonte de íons para processo PECVD e PA PVD.
A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completo de chave listado abaixo:
1. Câmara de Vácuo
1.1 Tamanho: Diâmetro interno: 1200mm
Altura interna: 1500mm
1.2 Material: Câmara de Vácuo SUS304
Porta e flanges SUS304
Estrutura de reforço da câmara: aço macio SS41, com tratamento superficial de acabamento pintado.
Chassis da câmara em aço macio SS41 com tratamento superficial de acabamento pintado.
1.3 Escudo da Câmara: SUS304
1.4 Janela de visualização: 2 na porta
1.5 Válvula de ventilação da câmara de vácuo (incluindo silenciador)
1.6 Porta: material SUS304
2. Sistema de bombeamento a vácuo de desbaste:
Bomba de vácuo de palhetas rotativas de óleo + bomba de retenção
Bomba Molecular de Suspensão Magnética - 2 conjuntos
4. Sistema Elétrico de Controle e Operação- PLC+ Touch ScreenSistema de Operação:
Fornecedores:
PLC: Mitsubishi + tela sensível ao toque (fabricado na China)
Componentes eletrônicos: SCHNEIDER,OMRON.
Sistema de Proteção de Segurança:Numerosos intertravamentos de segurança para proteger os operadores e equipamentos (água, gás atual, temperatura etc.)
Sistema de Processos de Revestimento: Automação e Controle de Processos.
4.1 Circuito principal: Interruptor sem fusível, interruptor eletromagnético, tipo C/T em série
4.2 Fonte de alimentação: DC/MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply
4.3 Sistema de controle de deposição
4.4 Sistema de operação: tela sensível ao toque + PLC, controle de receita e registro de dados, desligamento automático, evacuação automática, revestimento automático
4.5 Sistema de Medição
Pressão de Vácuo: Medidor de Vácuo: Pirani + Medidor Penning + Medidor de Vácuo Full Range -- Marca Europa
Dispositivo de medição de temperatura: Termopar
MFC: Controlador de fluxo de massa (4 vias),
4.6 Sistema de alarme: pressão de ar comprimido, fluxo de água de resfriamento, operação incorreta
4.7 Indicador de carga de energia: Indicador de tensão e indicador de corrente de carga
5.Sistema de Deposição
5.1 Fonte de deposição: cátodos pulverizadores + fontes de arco + fonte de íons
5.2 Material de deposição: Cobre, Alumínio, Cromo, Prata, Ouro, SS, Titânio etc.
6.Subsistema
6.1 Sistema de Controle de Válvula de Ar Comprimido
6.2 Sistema de água de resfriamento: tubo de fluxo de água e sistema de válvula de comutação
Ar Comprimido: 5~8kg/cm2
Água de resfriamento: Temperatura da água: 20 ~ 25 ℃, 200 litros/min,
Pressão de entrada de água: 2~3 kg/cm2,
Potência: 3 fases 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo médio de energia: 60KW
Área de instalação: (L*W*H)4400*3200*2950mm
Exaustão: Ventilação para bombas mecânicas
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