AlN Chips Copper Sputtering Depostion System, cobre do nitreto de alumínio PVD engasgando a máquina
Desempenho
1. Pressão final do vácuo: melhor do que os Torr 5.0×10-6.
2. Pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. Tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 câmaras limpo e vazio dos minutos (temperatura ambiente, seco,)
4. Metalizando o material (que engasga + evaporação do arco): Ni, Cu, AG, Au, si, Zr, Cr etc.
5. Modelo de funcionamento: Completamente automaticamente /Semi-Auto/ manualmente
Estrutura
A máquina de revestimento do vácuo contém terminado o sistema chave alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (magneticamente bomba molecular da suspensão)
4. Sistema elétrico do controle e da operação
5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema do depósito
Características chaves de cobre de máquina de revestimento engasgar
1. Equipado com os 8 cátodos do arco do boi e C.C. que engasgam cátodos, MF que engasga cátodos, unidade da fonte de íon.
2. Revestimento Multilayer e do co-depósito disponível
3. Fonte de íon para que o pré-tratamento da limpeza do plasma e o depósito ajudado Íon-feixe aumente a adesão do filme.
4. De Al2O3/AlN das carcaças do aquecimento unidade cerâmica acima;
5. Sistema da rotação e da revolução da carcaça, para 1 revestimento lateral e revestimento de 2 lados.
Planta de Magnetron Sputtering Coating do tanoeiro na carcaça cerâmica da irradiacão
O cobre de chapeamento direto do processo do DPC é uma tecnologia de revestimento avançada aplicada com diodo emissor de luz/semicondutor/indústrias eletrônicas. Uma aplicação típica é cerâmica irradiando a carcaça.
Depósito condutor do filme do tanoeiro em Al2O3, carcaças de AlN pelo vácuo de PVD que engasga a tecnologia, comparada com os métodos de fabricação tradicionais: DBC LTCC HTCC, uns custos de gastos de fabricação muito mais baixos é sua característica alta.
A equipe real da tecnologia assited nosso cliente ao tornado o processo do DPC com sucesso com PVD que engasga a tecnologia.
A máquina de RTAC1215-SP projetada exclusivamente para o revestimento condutor de cobre em microplaquetas cerâmicas, placa do filme de circuito cerâmica.
Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções de revestimento totais.
