Magnétron que engasga especificações das fontes
Características chaves
1. Projeto finito do campo magnético do elemento
2. Ímã isolado da água refrigerando
3. Compatível com poderes de DC/MF e de RF
4. Utilização alta do alvo
5. Sentido de ejeção ajustável
6. Densidade de poder superior e uniformidade excelente
7. Escolha equilibrada e desequilibrada do modo
| Máximo que engasga o poder | |
| Alvo de refrigeração indireto | > 20 watts/cm2 (C.C.) |
| > 7 watts/cm2 (RF) | |
| Tensão da descarga | 100 a 1500 volts |
| Corrente de descarga | > 0,05 ampères/cm2 |
| Pressão de funcionamento | Pa 0,05 a 5 |
| Utilização do alvo | > 35% |
| Alvo | |
| Formulário | Planar retangular |
| Espessura | 6mm~16mm |
| Largura | 125mm |
| A instalação | Interno/externo |
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