Fontes de plasma da camada anódica
| Destaques | Formulários: |
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Revestimentos de bobinas R2R, Sistemas de deposição em linha, Revestimentos em lote Para filmes ópticos, revestimentos duros, filmes finos funcionais e decorativos, tratamento de plasma têxtil. |
| produtos | ActiveGas-ALS (retangular) | ActiveGas-ALS (circular) |
| Máx.tensão de descarga | 1500V | 1500V |
| Máx.Corrente de descarga | ＞15mA/cm | ＞15mA/cm |
| Energia iônica | 50~800eV | 50~800eV |
| Pressão de operação | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
| Água de refrigeração | 5L/min | 2L/min |
| Dimensões (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | ø114×130(H) |
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