Características do Equipamento de Revestimento Cerâmico PVD:
1. A câmara de vácuo é vertical uma porta aberta, 304 fabricantes de aço inoxidável, diâmetro interno da câmara de vácuo de φ1400mm-Φ2000mm;
2. Sistema de Vácuo por Bomba de Palheta Rotativa, Bomba Roots e Bombas de Difusão de Óleo ou Constituição de Bomba Molecular;
3. O sistema de revestimento usa 1-2 magnetismo de frequência intermediária para controlar a fonte de energia de pulverização catódica, tem 1-2 pares de magnetismo não balanceado para controlar o alvo e tem 14-40 fontes de arco.
4. Fonte de alimentação de polarização de pulso de alta eficiência;
5. O sistema de gaseificação utiliza o medidor de vazão mássico gasoso produzido internamente ou importado, o medidor de controle de quantidade de fluxo de gás (demonstração);
6. O circuito elétrico do estabelecimento do sistema eletricamente controlado sobrecarregado, corta o abastecimento de água, morre o dispositivo de alarme acústico-óptico;
7. Sistema de controle (touch-screen + PLC), parâmetro detalhado de exibição em tempo real, processo de produção inteiro de controle completamente automático e parâmetro tecnológico de memória automática.
Equipamento de Revestimento PVD - Especificações RTAC1618
| MODELO | RTAC1618 | ||
| MATERIAL | Aço inoxidável (S304) | ||
| TAMANHO DA CÂMARA | Φ1600*1800mm (H) | ||
| SISTEMA DE BOMBA | Bomba de vácuo de pistão rotativo (mecânica) | ||
| Bomba de Vácuo de Palheta Rotativa (Retenção) | |||
| Bomba de Vácuo Roots | |||
| Bomba de Difusão | |||
| TECNOLOGIA | Chapeamento de íons (fontes multi-arco) | ||
| ALVOS TÍPICOS | Cromo, Titânio, Zircônio, TiAl | ||
| GÁS | Medidores de fluxo de massa de gás (Ar, N2,) Argônio, Nitrogênio | ||
| AO CONTROLE | CLP (Controlador Lógico Programável) | ||
| SISTEMA DE SEGURANÇA | Numerosos intertravamentos de segurança para proteger operadores e equipamentos | ||
| RESFRIAMENTO | Reciclagem de água de resfriamento | ||
| AQUECIMENTO | Aquecedor, até 300 ℃ | ||
| POTÊNCIA MÁX. | 150KW (Aprox.) | ||
| CONSUMO MÉDIO DE ENERGIA | 70KW (Aprox.) | ||
Equipamento de Revestimento Cerâmico PVDleva a tecnologia de revestimento iônico para evaporar metais sólidos como titânio, cromo por fonte de arco catódico e condensar os metais ionizados na superfície do produto para gerar o filme fino Nano em ambiente de alto vácuo.Com o gás reativo como: Nitrogênio para gerar várias cores.
Outros tamanhos de máquina personalizados estão disponíveis com base nas dimensões especificadas do produto e na demanda de capacidade.
Modelo | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Tamanho interno da câmara | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Tipo de fonte de alimentação | Fonte de alimentação de arco, fonte de alimentação de filamento, fonte de alimentação de polarização de pulso | ||||||||||
| Estrutura da câmara de vácuo | Estrutura vertical da porta dianteira, sistema de exaustão de ar traseiro e câmara de resfriamento de água de camada dupla | ||||||||||
| Material da câmara de vácuo | aço inoxidável 304/316L | ||||||||||
| Vácuo final | 6,0x10-4Pa (descarregamento, limpeza, câmara de secagem) | ||||||||||
| Velocidade de bombeamento a vácuo | da atmosfera para 8,0*10-3Pa ≤15 minutos | ||||||||||
| Sistema de bombeamento a vácuo | Bomba de difusão ou bomba molecular + bomba de raízes + bomba mecânica + bomba de retenção (o modelo específico pode ser selecionado de acordo com os requisitos do cliente) | ||||||||||
| Fonte do arco | 6 unidades ou 8 unidades | 8 unidades ou 10 unidades | 10 unidades ou 12 unidades | 14 unidades ou 16 unidades | 16 unidades ou 18 unidades | ||||||
| Fonte de alimentação de polarização | 20KW/conjunto | 20KW/conjunto | 30KW/conjunto | 40KW/conjunto | 50KW/conjunto | ||||||
| Modelo de condução | Revolução e rotação planetária, regulação de velocidade de frequência variável (controlável e ajustável) | ||||||||||
| Aquecedor | Controlável e ajustável da temperatura ambiente até 450°C (Controle de temperatura PID) | ||||||||||
| MFC | Sistema de exibição e controle de fluxo de gás de processo de 3 ou 4 caminhos, sistema de gaseificação automático seletivo | ||||||||||
| Sistema de refrigeração | Modo de resfriamento de circulação de água, torre de água de resfriamento ou resfriador de água industrial ou sistema de resfriamento profundo.(Fornecido pelos clientes) | ||||||||||
| Modo de controle | Modo de integração manual/automático, operação de tela sensível ao toque, PLC ou controle por computador | ||||||||||
| Poder total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarme e proteção | Alarme falta de água, sobrecorrente e sobretensão, circuito aberto e outras condições anormais de bombas, alvos e assim por diante e execute medidas de proteção relevantes e função de intertravamento elétrico | ||||||||||
| Área de equipamentos | L2,5m*L3,5m | W3m*L4m | W4m*L5m | L4,5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| Outros parâmetros técnicos | Pressão da Água ≥0,2MPa, Temperatura da Água ≤25°C, Pressão do Ar 0,5-0,8MPa | ||||||||||
| Observações | A configuração específica do equipamento de revestimento pode ser projetada de acordo com os requisitos do processo de produtos de revestimento | ||||||||||
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