O magnétron desequilibrado do campo fechado que engasga o sistema do depósito, desequilibrou o magnétron que engasga Ion Plating
Os processos desequilibrados e fechados do magnétron do campo têm todas as vantagens de magnétrons planares. As vantagens e as desvantagens adicionais são:
Magnétron desequilibrado e fechado do campo que engasga as propriedades revolucionadas realizáveis pelo magnétron que engasga processos. Como bem sucedido com o filme fino melhorado tribológico, a resistência de corrosão e propriedades óticas como esta tecnologia eram, as melhorias na tecnologia do magnétron tinham começado apenas. Blogue que seguinte nós nos movemos em aplicações do filme fino girando e cilíndrico dos processos e resultar do magnétron.
--- Acima do artigo de P E T E R M UM R T I N
A tecnologia real desenvolveu o rendimento alto e a utilização alta do alvo que engasgam cátodos, especialmente para engasgar raro e caro dos metais: Ouro do Au, tântalo de Ta, depósito de prata dos filmes do metal do AG. O sistema do depósito do filme alto da uniformidade tem servido diversas indústrias como as peças da eletrônica, os componentes que exigem altamente a uniformidade do filme, depósito múltiplo dos instrumentos médicos das camadas.
A máquina RTSP1000 é uma máquina estandardizada desenvolvida pela tecnologia real. Extensivo aplicou-se com corte/ferramentas da formação, moldes, instrumentos médicos, componentes da eletrônica, indústrias automóveis.
Configurações RTSP1000 principais e parâmetros técnicos | ||||||||
MODELO | RTSP1000 | |||||||
TECNOLOGIA | Magnétron do MF que engasga + limpeza do plasma da fonte de íon | |||||||
MATERIAL DA CÂMARA | De aço inoxidável (S304) | |||||||
TAMANHO DA CÂMARA | Φ1000*800mm (h) | |||||||
TIPO DA CÂMARA | Forma de D | |||||||
CREMALHEIRA DA ROTAÇÃO & SISTEMA DO GABARITO | peso máximo de 6 satélites: 500kgs | |||||||
FONTES DE ALIMENTAÇÃO |
Qty. de engasgar: Polarização do quilowatt 2*24 da fonte de alimentação: fonte 1*5KW de 1*20W Ion Source Power |
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MATERIAL DO DEPÓSITO | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/Carbon etc. | |||||||
FONTE DO DEPÓSITO | cátodos planares engasgar de 2 pares (4 partes) + 1 Ion Source linear Área da uniformidade: ±10~15% |
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CONTROLE | PLC (controlador programável da lógica) + tela táctil (modelos de operação de manual+ auto+ semi-auto) | |||||||
SISTEMA DE BOMBA | Vane Pump giratória: SV300B - 1 grupo (Leybold) | |||||||
As raizes bombeiam: Grupo de WAU1001- 1 (Leybold) | ||||||||
Guardando a bomba: Grupo de D60C- 1 (Leybold) | ||||||||
Bomba molecular da suspensão magnética - 1 grupo (Leybold) | ||||||||
INTOXIQUE O CONTROLADOR DO FLUXO MACIÇO | 4 canais, feitos em China, modelo digital de sete estrelas (série do CS,) | |||||||
CALIBRE DE VÁCUO | Modelo: ZDF-X-LE, feito em China: ZDF-X-LE | |||||||
FONTE DE ÍON LINEAR | 1 parte quetrata, plasma que limpa + depósito ajudado | |||||||
SISTEMA DE SEGURANÇA | Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento | |||||||
AQUECIMENTO | Calefatores: 30KW. Temp máximo.: 450℃ | |||||||
REFRIGERAR | Refrigerador industrial (água fria) | |||||||
MÁXIMO DO PODER. | 100KW (aproximadamente) | |||||||
CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA | 45 quilowatts (aproximadamente) | |||||||
PESO DE EFETIVAÇÃO | T (aproximadamente) | |||||||
CÓPIA DO PÉ | (L*W*H) 4000*4000 *3200 MILÍMETRO | |||||||
PODER ELÉTRICO | C.A. 380V/3 phases/50HZ/5 linhas |
Depósito planar engasgar da utilização alta do alvo: CLIQUE por favor AQUI para olhar o vídeo
Ion Source Plasma Cleaning linear e depósito ajudado: CLIQUE por favor AQUI para olhar o vídeo
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