Engasgar do magnétron é amplamente utilizado depositar metais refratários como o tântalo, o titânio, o tungstênio, o nióbio, que exigiriam altas temperaturas mesmas do depósito, e metais preciosos: O ouro e a prata e qual são usados igualmente para o depósito de uns metais mais de baixa temperatura de fusão dos pontos como o cobre, alumínio, níquel, o cromo etc.
O tântalo é usado mais na indústria eletrônica como um revestimento protetor devido a sua boa resistência à erosão.
Aplicações do filme fino do tântalo Sputtered:
1. a indústria da microeletrônica como os filmes podem reactivamente ser engasgados e assim o coeficiente da resistividade e de temperatura da resistência podem ser controlados;
Vantagens técnicas
O tântalo estandardizado da tecnologia real que engasga o sistema do depósito: RTSP1000
Configurações principais | |
MODELO | RTSP1000 |
TECNOLOGIA |
Engasgar pulsado do magnétron da C.C. Chapeamento catódico do arco (para a opção, determinado revestindo o processo) |
MATERIAL DA CÂMARA | De aço inoxidável (S304) |
TAMANHO DA CÂMARA | Φ1000*1600mm (h) |
TIPO DA CÂMARA | Forma de D, câmara cilíndrica |
CREMALHEIRA DA ROTAÇÃO & SISTEMA DO GABARITO | Condução satélite ou sistema de condução central |
FONTES DE ALIMENTAÇÃO |
C.C. que engasga a fonte de alimentação: 2~4 grupos Ion Source: 1 grupo |
MATERIAL DO DEPÓSITO | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, AG, Cu etc. |
FONTE DO DEPÓSITO | Cátodos planares engasgar + cátodos circulares do arco |
CONTROLE | PLC (controlador programável da lógica) + IPC (modelos de operação de manual+ auto+ semi-auto) |
SISTEMA DE BOMBA | Vane Pump giratória: SV300B – 1 grupo (Leybold) |
As raizes bombeiam: WAU1001 – 1 grupo (Leybold) | |
Guardando a bomba: D60C – 1 grupo (Leybold) | |
Bomba molecular da suspensão magnética: MAG2200 – 2 os mais sest (Leybold) |
|
INTOXIQUE O CONTROLADOR DO FLUXO MACIÇO | 2 canais: AR e N2 |
CALIBRE DE VÁCUO | Inficon ou Leybold |
SISTEMA DE SEGURANÇA | Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipmen |
AQUECIMENTO | Calefatores: 20KW. Temp do máximo.: 450℃ |
REFRIGERAR | Refrigerador industrial (água fria) |
MÁXIMO DO PODER. | 100KW (aproximadamente) |
CONSUMO DE POTÊNCIA MÉDIA | 45 quilowatts (aproximadamente) |
PESO DE EFETIVAÇÃO | T (aproximadamente) |
CÓPIA DO PÉ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILÍMETRO |
CORRENTE ELÉTRICA |
Linha phases/50HZ/5 da C.A. 380V/3 |
Insite:
Tempo construído: 2018
Lugar: China
Contacte-nos por favor para mais aplicações e especificações.