Magnétron experimental que engasga a unidade do revestimento/tamanho pequeno portátil vertical que engasga a máquina de revestimento
A tecnologia real projetou e vário fornecido de sistemas de revestimento do Ultra-Alto-vácuo para o ensino da faculdade e a pesquisa científica e o desenvolvimento, para estudar o vário crescimento de filme diferente, gera uns filmes finos NANO mais inovativos é aplicado com nossas indústrias comerciais. Nossos clientes gostam: Universidade de Shanghai de China, universidade de Machanster do Reino Unido, universidade científica etc. do Pequim.
Unidades experimentais do revestimento de vácuo da evaporação de Theraml: Com o revestimento da evaporação da resistência e o elétron térmicos - técnicas da evaporação da arma do feixe, para gerar filmes condutores, o filme fino do semicondutor, o filme fino ótico e o microscópio de elétron (SEM) da exploração. Os dispositivos opcionais gostam: As unidades para o pré-tratamento da limpeza do plasma, da fonte de íon ou da fonte de íon do salão depósito ajudado plasma podem gerar de alta qualidade dos filmes do metal, do filme composto, dos filmes orgânicos etc. Satisfaça inteiramente a aplicação do R&D. Seus projeto flexível e fontes múltiplas do depósito são dados boas-vindas pelos pesquisadores.
Magnétron de Experimetal que engasga unidades do revestimento de vácuo: A C.C., MF, RF que engasga cátodos para a finalidade do R&D pode obter o monolayer, o filme dielétrico, o filme composto, o semicondutor, camadas múltiplas, o filme composto, e os filmes etc. do dielétrico
Magnétron de Experimetal que engasga o desempenho técnico das unidades do revestimento de vácuo:
1 pressão final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.
2. Pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. Tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Metalizando o Al, o Cr, o Sn, o si, SS, o Cu (engasgando) materiais… etc.
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
Magnétron de Experimetal que engasga a estrutura das unidades do revestimento de vácuo
1. Câmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (bomba de difusão)
4. Sistema bonde do controle e da operação
5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema do depósito
Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.
