Magnétron do filme fino do laboratório que engasga a máquina de revestimento/filme fino portátil que engasga o sistema de revestimento
A tecnologia real projetou e vário fornecido de sistemas de revestimento do Ultra-Alto-vácuo para o ensino da faculdade e a pesquisa científica e o desenvolvimento, para estudar o vário crescimento de filme diferente, gera uns filmes finos NANO mais inovativos é aplicado com nossas indústrias comerciais. Nossos clientes gostam: Universidade de Shanghai de China, universidade de Machanster do Reino Unido, célula combustível científica da universidade do Pequim, do semicondutor, da célula solar, pesquisa científica do espaço aéreo das organizações e departamento de física etc. do de alta energia.
Magnétron do filme fino do laboratório que engasga a máquina de revestimento: A C.C., MF, RF que engasga cátodos para a finalidade do R&D pode obter o monolayer, o filme dielétrico, o filme composto, o semicondutor, camadas múltiplas, o filme composto, e os filmes etc. do dielétrico
Magnétron do filme fino do laboratório que engasga o desempenho técnico da máquina de revestimento:
1 pressão final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.
2. Pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. Tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Metalizando o Al, o Cr, o Sn, o si, SS, o Cu (engasgando) materiais… etc.
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
Magnétron do filme fino do laboratório que engasga a estrutura da máquina de revestimento
1. Câmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (bomba de difusão)
4. Sistema bonde do controle e da operação
5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema do depósito
O magnétron do filme fino do laboratório que engasga o sistema de revestimento igualmente pode combinar com as fontes do cathod e da evaporação do arco para mais aplicação dos estudos.
