October 11, 2022
Equipamento de Revestimento de Múltiplas Funções de P&D
Modelo da máquina:Multi950-P&D
Tecnologia:PVD+PECVD
Tempo de construção:2015
Localização:Xangai, China
Instalação e teste:5 dias
Comissionamento e Treinamento:3 dias
Características de design
1. Flexibilidade: Catodos de arco e sputtering, flanges de montagem de fonte de íons são padronizados para troca flexível;
2. Versatilidade: pode depositar diversos metais básicos e ligas;revestimentos ópticos, revestimentos duros, revestimentos macios, filmes compostos e filmes lubrificantes sólidos sobre substratos de materiais metálicos e não metálicos.
3. Design direto: estrutura de 2 portas, abertura frontal e traseira para fácil manutenção.
A máquina Multi950 é um sistema de deposição a vácuo de múltiplas funções personalizado para P&D.Com a discussão de meio ano com a equipe da Universidade de Xangai liderada pelo professor Chen, finalmente confirmamos o design e as configurações para atender às suas aplicações de P&D.Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com processo PECVD, revestimentos duros em ferramentas e filme óptico com catodo sputtering.Com base neste conceito de projeto de máquina piloto, desenvolvemos 3 outros sistemas de revestimento depois disso:
1. Revestimento de Placa Bipolar para Veículos Elétricos a Célula de Combustível-RT1200-FCEV
2. Cobre Chapeado Direto Cerâmico-RT1200-DPC
3. Sistema de Sputtering Flexível - RTSP1200-PCB
Estes 4 modelos de máquina são todos com câmara Octal, desempenhos flexíveis e confiáveis são amplamente utilizados em várias aplicações.Satisfaz os processos de revestimento que exigem várias camadas de metal diferentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não feeromagnéticos;mais a unidade de fonte de íons, aumenta eficientemente a adesão dos filmes em diferentes materiais de substrato com seu desempenho de gravação a plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono.
RT1200-PCB
RT1200-DPC (cooper de chapeamento direto em cerâmica/Al2O3, AlN)
RT1200-FCEV
O Multi950 é o marco de sistemas de revestimento de design avançado para a Royal Tech.Aqui, agradecemos aos alunos da Universidade de Xangai e especialmente Process Yigang Chen, sua dedicação criativa e altruísta são valores ilimitados e inspiraram nossa equipe.
No ano de 2018, tivemos outro projeto de cooperação com o Pressor Chen, a deposição de material C-60 pelo método de evaporação térmica indutiva.Agradecemos a liderança e instrução do Sr. Yimou Yang e do Professor Chen em cada projeto inovador.
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