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Multi950- Universidade de Xangai- para P&D de DLC transparente, revestimentos duros

October 11, 2022

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Equipamento de Revestimento de Múltiplas Funções de P&D

Modelo da máquina:Multi950-P&D

Tecnologia:PVD+PECVD

Tempo de construção:2015
Localização:Xangai, China

Instalação e teste:5 dias

Comissionamento e Treinamento:3 dias

 

 

Características de design

 

1. Flexibilidade: Catodos de arco e sputtering, flanges de montagem de fonte de íons são padronizados para troca flexível;

2. Versatilidade: pode depositar diversos metais básicos e ligas;revestimentos ópticos, revestimentos duros, revestimentos macios, filmes compostos e filmes lubrificantes sólidos sobre substratos de materiais metálicos e não metálicos.

3. Design direto: estrutura de 2 portas, abertura frontal e traseira para fácil manutenção.
 

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A máquina Multi950 é um sistema de deposição a vácuo de múltiplas funções personalizado para P&D.Com a discussão de meio ano com a equipe da Universidade de Xangai liderada pelo professor Chen, finalmente confirmamos o design e as configurações para atender às suas aplicações de P&D.Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com processo PECVD, revestimentos duros em ferramentas e filme óptico com catodo sputtering.Com base neste conceito de projeto de máquina piloto, desenvolvemos 3 outros sistemas de revestimento depois disso:

1. Revestimento de Placa Bipolar para Veículos Elétricos a Célula de Combustível-RT1200-FCEV

2. Cobre Chapeado Direto Cerâmico-RT1200-DPC

3. Sistema de Sputtering Flexível - RTSP1200-PCB

 

Estes 4 modelos de máquina são todos com câmara Octal, desempenhos flexíveis e confiáveis ​​são amplamente utilizados em várias aplicações.Satisfaz os processos de revestimento que exigem várias camadas de metal diferentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não feeromagnéticos;mais a unidade de fonte de íons, aumenta eficientemente a adesão dos filmes em diferentes materiais de substrato com seu desempenho de gravação a plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono.

 

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RT1200-PCB

 

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RT1200-DPC (cooper de chapeamento direto em cerâmica/Al2O3, AlN)

 

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RT1200-FCEV

 

O Multi950 é o marco de sistemas de revestimento de design avançado para a Royal Tech.Aqui, agradecemos aos alunos da Universidade de Xangai e especialmente Process Yigang Chen, sua dedicação criativa e altruísta são valores ilimitados e inspiraram nossa equipe.

 

No ano de 2018, tivemos outro projeto de cooperação com o Pressor Chen, a deposição de material C-60 pelo método de evaporação térmica indutiva.Agradecemos a liderança e instrução do Sr. Yimou Yang e do Professor Chen em cada projeto inovador.

 

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