October 11, 2022
Modelo da máquina: RT1200-FCEV
Tecnologia: com PECVD + PVD Magnetron Sputtering Deposição: Alvos de Si, Cr, Carbono, para gerar Campo magnético fechado desbalanceado para deposição de filmes de alta densidade, alta uniformidade e excelente resistência à corrosão.
Tempo de construção: 2016
Local: Xangai, China
Instalação e teste: 3 dias
Comissionamento e treinamento: 7 dias
esteRT1200-FCEVO sistema de deposição de magnetron sputtering de alto vácuo é um modelo feito sob medida que se refere ao modelo Multi950-R&D que construímos para a Universidade de Xangai.
Ele é projetado com câmara Octal, desempenhos flexíveis e confiáveis são amplamente utilizados em várias aplicações.Satisfaz os processos de revestimento que requerem várias camadas de metal diferentes: Ta, Cr, Si, Grafite, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não feeromagnéticos;mais a unidade de fonte de íons, aumenta eficientemente a adesão dos filmes em diferentes materiais de substrato com seu desempenho de gravação a plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono.
Estrutura do Equipamento: Orientação vertical, estrutura octogonal, 2 portas (abertura frontal e traseira) para fácil acesso.
Características do equipamento:
Sistema ecologicamente correto, sem resíduos perigosos.
Integração total, design modular
Comercializado e padronizado para produção industrial em massa
Fonte de íons extremamente eficiente para forte adesão e alta ionização.
Operação fácil: tela sensível ao toque + controle PLC, operação de um toque
Com o software Royal Tech, os parâmetros do processo podem ser programados, salvos e reproduzidos.
Projeto especial do sistema Carrossel para deposição de alta uniformidade.
Alta produtividade e estabilidade, trabalhando 24 horas por dia, 7 dias por semana.
Flexível, adapta-se a vários tamanhos de chapas, para revestimento de face simples ou dupla.
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