Ouro do Au que engasga o equipamento do depósito, Silve/máquina depósito do ouro PVD, filme condutor PVD que engasga o sistema
Sumário: O cobre de chapeamento direto do processo do DPC é uma tecnologia avançada do revestimento aplicada com diodo emissor de luz/semicondutor/indústrias eletrônicas. Uma aplicação típica é cerâmica irradiando a carcaça. O depósito condutor do filme do tanoeiro no óxido de alumínio (Al2O3), carcaças de AlN por PVD limpa engasgar a tecnologia, comparada com a fabricação tradicional
métodos: DBC LTCC HTCC, uns custos de gastos de fabricação muito mais baixos é sua característica alta.
A equipe real da tecnologia ajudou a nosso cliente desenvolveu o processo do DPC com sucesso com PVD que engasga a tecnologia.
Palavras-chaves: Peças de selagem cerâmicas, processo do DPC, PVD de cobre que engasga o sistema, microplaquetas cerâmicas com chapeamento do tanoeiro, Al2 O3do diodo emissor de luz, placas de circuito cerâmicas de AlN, placas Al2O3 no diodo emissor de luz, semicondutor
Aplicações do DPC:
· HBLED
· Carcaças para pilhas solares do concentrador
· Semicondutor do poder que empacota incluindo o controlo do motor automotivo
· Eletrônica da gestão do poder do automóvel híbrido e bonde
· Pacotes para o RF
· Dispositivos da micro-ondas
Desempenho da tecnologia do DPC
Vários materiais da carcaça: Cerâmico (Al3O2, AlN), vidro, e si
Características:
Especificações técnicas
1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 9.0*10-5;
3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Fonte do depósito: Magnétron de Gencoa que engasga cátodos, cátodos dirigidos do arco, fonte de íon
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 500℃,
9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.
A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:
1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Diâmetro interno: 1200mm
Altura interna: 1500mm
1,2 material: Câmara de vácuo SUS304
Porta e flanges SUS304
A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.
Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.
1,3 protetor da câmara: SUS304
1,4 janela da vista: 2 na porta
1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)
1,6 porta: Material SUS304
2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto: Magneticamente bomba molecular da suspensão - 2 grupos
4. Sistema bonde da operação do tela táctil do sistema PLC+ do controle e da operação:
Fornecedores:
PLC: Mitsubishi + tela táctil (feito em China)
Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.
Sistema de proteção da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)
O revestimento processa o sistema: Automatização & controle de processo.
4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série
4,2 fonte de alimentação: DC/MF que engasga o poder do arco do poder + da C.C. + fonte de alimentação diagonal
4,3 sistema de controlo do depósito
4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento
4,5 sistema de medição
Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa
Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),
4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação
4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga
5. sistema do depósito
5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes do arco de cathodes+ + fonte de íon
5,2 material do depósito: Cobre, alumínio, Chrome, prata, ouro, SS, titânio etc.
6. Subsistema
6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar
6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água
7. Ambiente de trabalho
Ar comprimido: 5~8kg/cm2
Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW
Área da instalação: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas
Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.