Engasgar do sistema do depósito do filme fino de PVD e máquina de revestimento alta de evaporação térmica da produtividade PVD do revestimento de vácuo

Engasgar do sistema do depósito do filme fino de PVD e equipamento de evaporação térmico do revestimento de vácuo

Sistema do depósito do filme fino de PVD, engasgar e equipamento de evaporação térmico do revestimento de vácuo

O sistema do depósito do filme fino de PVD contém as fontes do depósito de fontes do salpico da fonte da evaporação do filamento do tungstênio e do magnétron da C.C. (o RF que engasga cátodos é para a opção). Este equipamento é usado na maior parte para depositar filmes finos em partes, no vidro, no metal ou em folhas plásticas com os materiais de depósito como: Al do metal, Cr, Cu, AG, Au, fontes puros da evaporação do si etc. geralmente para obter filmes finos reflexivos altos em superfícies dos produtos ou filmes condutores, ou para dar uma imagem metálica da probabilidade.  Salvo que, as fontes engasgar condensam uma vasta gama de materiais e de dielétricos do semicondutor que incluem óxidos condutores transparentes, etc. 

Configurações de sistema do depósito do filme fino de PVD:

Desempenho

1. Pressão final do vácuo:  melhore do que os Torr 5.0×10-6.

2. Pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.

3. Bombeando o tempo ocioso da máquina de 1 atm aos minutos de 1.0×10-4 Torr≤3 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)   

4. Metalizando o material (evaporação): Al, Cr, Sn, si, SS, Cu… etc.

5. Modelo de funcionamento:  Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

estrutura do l

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho:  Diâmetro interno 1600mm

         Altura interna 1600mm

1,2 material:  Câmara de vácuo SUS304 (aço SS41 suave para a opção)

            Porta e flanges SUS304 (aço SS41 suave para a opção)

       A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.

  Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.

1,3 protetor: SUS304

 1,4 janela da vista: na porta da câmara

1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo, incluindo o silenciador

1,6 material da porta SUS304

2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging  

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto 

4. Tela táctil bonde do sistema PLC+ do controle e da operação

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 poder da evaporação: 35kVA

4,3 sistema de controlo da evaporação

4,4 sistema da operação:  Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento

4,5 sistema de medição da pressão do vácuo

     Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre

     Calibre do par termoelétrico: 760 Torr ~ Torr 5*10-4

4,6 sistema de alarme:  Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação 

4,7 indicador da carga do poder:  Indicador da tensão e indicador da corrente da carga

5. Sistema do depósito

5,1 fonte da evaporação do filamento do tungstênio

5,2 materiais térmicos da evaporação: fios, anéis, hastes etc.

5,3 fontes do salpico (poder de DC/MF conduzido)

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 sistema da válvula da tubulação e do interruptor do fluxo da Sistema-água da água refrigerando

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