Vácuo do frasco de Bell que metaliza o CE indutivo da máquina do depósito do sistema C60

                                           Máquina de revestimento indutiva da evaporação

Sumário:

O aquecimento de indução é amplamente utilizado nos campos diferentes devido à produtividade e à universalidade altas do processo, na limpeza e na possibilidade de automatização completa. Como um método da tecnologia térmica da evaporação de PVD, o processo é amigável para o ambiente. Desde que a indução reserva alcançar a temperatura de 2000℃ e de mais, este método é muito apropriado para a produção industrial e as pesquisas científicas.

A máquina de revestimento da evaporação da indução RTEP0404 é projetada para o depósito C60 de evaporação varia sobre dos materiais. C60 fabrica fornece o R&D e os resultados de testes para em perspectiva. Uma ferramenta forte que ajuda a lhes a expandir indústrias aplicadas novas.

O primeiro grupo é produzido para a universidade de Shanghai. O modelo da produção industrial está sob o processamento. 

Aplicações principais:

Para depositar sobre camadas e revestimentos do filme fino

• Semicondutores
• Vidro
• Polímeros
• Eletrônica
• Sistema ótico
• Outros produtos industriais que incluem os filmes do empacotamento de alimento, as tiras de metal etc.

Tipo:

Orientação vertical, modelo do frasco de Bell, abertura superior

Características de projeto:

• pressão final Ultra-alta do vácuo: até Pa 9.0*10-5;
• Rápido aquecendo acima dispositivos para uma boa adesão;
• Sistema de revestimento robusto, compacto e contínuo;
• Exclusivamente projeto da fonte da evaporação do aquecimento de indução para o depósito C60;
• O poder do evaporador da indução: Moeda do RF

Especificações técnicas:

• Desempenho

1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 9.0*10-5;

• Pressão de funcionamento do vácuo: 6.0*10-4 Pa do Pa ~9.0*10-4;

Pressão baixa do vácuo: Pa 3.0*10-4

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: de 1 atm aos minutos de 2.0×10-3 Pa≤25 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)

4. Fonte do depósito: evaporador da indução, cadinho

5. Modelo de funcionamento: Manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 1000℃,

7. Poder da evaporação:  Radiofrequência do RF e fonte de alimentação

8. Gás de trabalho: AR 

• Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Câmara de vácuo

1,1 tamanho: Diâmetro interno 400mm

     Altura interna: 400mm

1,2 material: Câmara de vácuo SUS304

A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.

Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.

1,3 protetor da evaporação: SUS304

1,4 janela da vista: na porta da câmara

1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)

2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de aleta giratória do óleo de duas fases

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto: Bomba molecular do turbocompressor

4. Unidade elétrica da operação do sistema HMI do controle e da operação

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 poder da evaporação

4,3 sistema de controlo da evaporação

4,4 sistema da operação: PLC

4,5 sistema de medição

Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre

4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: evaporador do thermal da indução

5,2 material do depósito: C60

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água

6,3 gás de trabalho: AR (>99.99%)

7. Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo de potência média: 3kVA

Área da instalação: (L*W*H) 2000*200*2000mm

         Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas

Automaticamente puxando a unidade de Up-Down para abrir/próximo a câmara

Sistema bonde do cerco:

Pontas da segurança:

Proteção de Shileding da radiação do RF

Nós fomos esforçamo-nos projetar e para desenvolver o sistema de revestimento o mais apropriado que encontram nossa qualidade alta da eficiência e do revestimento da produção do cliente pede.

Se o sistema de revestimento personalizado é exigido por sua empresa, compartilhe por favor de seus pensamentos, ideias com nossa equipe e submeta suas especificações de produtos, nós trabalhará junto para classificar para fora as melhores soluções.