Magnétron high-density que engasga o sistema do depósito para o filme hidrofóbica da composição, PECVD que engasga a máquina

                  Filme hidrofóbica da composição e outros filmes funcionais que engasgam o sistema do depósito

Aplicações:

A máquina RTSP1213 é um sistema modelo engasgar do grupo, revestimentos duros dos depósitos da lata uns vários, uns revestimentos macios, uns filmes compostos e uns filmes de lubrificação contínuos nas carcaças metálicas e não metálicas dos materiais. Aplicado às indústrias de veículos de Fuel Cell do hidrogênio, de produtos do photonics, de espaço aéreo e de outras indústrias energéticas novas.

Propriedades:

Para melhorar a condutibilidade da superfície;

 Resistência de corrosão alta;

 Resistência de desgaste alta;

 Dureza alta

 Filme hidrofóbica da composição e outros filmes funcionais

Disponível para revestimentos compostos: filmes metálicos e não metálicos.

Escala de 100nm a 12μm, tolerância ±5% da espessura de filme da espessura
 Adesão forte.

 As baixas peças de moderação surgem endurecendo o tratamento.

Tipo:

Orientação vertical, estrutura do poliedro, 2 portas (parte dianteira e parte traseira)

Características:

• Sistema a favor do meio ambiente, nenhuma poluição industrial das águas residuais, do ar e de ruído;
• Operação fácil: Controle do tela táctil + do PLC e programa de software original para uma operação do toque, alarme das pesquisas de defeitos mais de 80%.
• Início de uma sessão de processamento e backup de até 10 receitas; repetibilidade e diversidade altas.
• Projeto especial do sistema do carrossel para a uniformidade alta do depósito do filme.
• Produtividade e de alta qualidade altos
• Sistema estável e seguro, correndo 365 dias * 24hrs (manutenção e reparo que quebram o tempo)
• Sistema de bombeamento da eficiência: linhas tranquilas do vácuo mais curto para a velocidade tranquila máxima com as bombas conhecidas do tipo de Europa
• O design compacto ocupa o espaço mínimo da instalação.

Especificações técnicas

• Desempenho

1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 8.0*10-5;

• Baseie a pressão do vácuo: Pa 3.0*10-4

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)

4. Fonte do depósito: equilibrado/desequilibrou engasgar cátodos

5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 450℃,

7. Limpeza do plasma e de assistência do plasma depósito: Fonte de íon linear do ânodo

8. Circuito fechado magnético arquivado. (Cátodos do desequilíbrio/equilíbrio)

9. Fonte de alimentação diagonal para o descarregamento do fulgor.

• Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Diâmetro interno 1200mm

Altura interna: 1300mm

1,2 material: Câmara de vácuo SUS304

Porta e flanges SUS304

A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.

Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.

1,3 engasgando o protetor: SUS304

1,4 janela da vista: na porta da câmara - 4 grupos (2 em cada porta)

1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)

1,6 porta: Material SUS304

2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:

Bomba giratória da bomba de vácuo +Roots da aleta do óleo + guardando a bomba (Leybold)

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto:

Bomba molecular da suspensão magnética (Leybold)

• Válvulas de porta - 2 grupos

4. Tela táctil bonde do sistema PLC+ do controle e da operação

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 engasgando fonte de alimentação da fonte de fonte + de íon de alimentação + fonte de alimentação diagonal (energia avançada)

4,3 engasgando o sistema de controlo do depósito

4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento

4,5 sistema de medição

Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa

Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras), modo da indicação digital-- Tipo de Europa

4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: Engasgando cátodos, fonte de íon -- Tipo de Europa

5,2 material do depósito: Alvo do carbono

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água

ambiente 7.Working

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, consumo de potência média: 40KW

Área da instalação: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas

Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.