Máquina do chapeamento do cobre PVD do óxido de alumínio, chapeamento de cobre em folhas cerâmicas, sistema de cobre de PVD do depósito

                     Máquina do chapeamento de cobre de óxido de alumínio, chapeamento de cobre de PVD em folhas cerâmicas,  

Palavras-chaves: Dirija o cobre chapeado, DPC, chapeamento de cobre cerâmico, revestimentos duros de PVD, processo de PECVD, filme de DLC, diamante como o filme do carbono, engasgando o filme ótico, magnétron de Gencoa engasgando o cátodo, fonte de íon, PA PVD

Características de projeto de RTAC950-SP:

• Flexibilidade: as fontes do arco e do salpico, flanges de montagem lineares dos dispositivos da fonte de íon são estandardizadas para a troca flexível
• Versatilidade: disponível para a variedade do depósito de metais e ligas baixas, revestimentos óticos e revestimentos duros, revestimentos macios. Filmes compostos e filmes de lubrificação contínuos nas carcaças metálicas e não metálicas dos materiais
• Projeto direto: estrutura de porta 2, parte dianteira e abertura traseira para a manutenção fácil

Especificações técnicas

• Desempenho

1. Pressão final do vácuo: melhore do que Pa 8.0*10-4;

• Baseie a pressão do vácuo: Pa 3.0*10-2

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm aos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)

4. Fonte do depósito: Magnétron de Gencoa que engasga cátodos, cátodos dirigidos do arco, fonte de íon

5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até o máximo 500℃,

9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.

• Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém o sistema da chave terminado alistado abaixo:

1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Profundidade interna 950mm

Altura interna: 1350mm

1,2 material: Câmara de vácuo SUS304

Porta e flanges SUS304

A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.

Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.

1,3 protetor da câmara: SUS304

1,4 janela da vista: em portas da câmara -2

1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)

1,6 porta: 2 grupos, partes dianteiras e partes traseiras, material SUS304

2. Sistema de bombeamento do vácuo do Roughing:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba

3. Sistema de bombeamento do vácuo alto:

Bomba molecular do turbocompressor - 2 grupos

4. Sistema bonde de ScreenOperation do toque do sistema PLC+ do controle e da operação:

Fornecedores:

PLC: Mitsubishi, modelo: SÉRIE FX-IN60MR-001

Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de proteção da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)

O revestimento processa o sistema: Automatização & controle de processo. Salvar automaticamente na memória por 3 meses. Dados de revestimento caracterizados das receitas: a corrente da operação do alvo/tensão, fluxo maciço, pressão do vácuo, temperatura, épocas de revestimento salvar para que uma análise aumente a qualidade dos revestimentos.

4,1 circuito do cano principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 fonte de alimentação: MF que engasga o poder do arco do poder + da C.C. + fonte de alimentação diagonal

4,3 sistema de controlo do depósito

4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento

4,5 sistema de medição

Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa

Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),

4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador da corrente da carga

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes do arco de cathodes+ + fonte de íon

5,2 material do depósito: ITO, titânio, Chrome, alumínio, de aço inoxidável, TiAl etc.

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água

7. Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW

Área da instalação: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas

Aplicações

Contacte-nos por favor para mais especificações, tecnologia real é honrado para fornecer-lhe soluções totais do revestimento.