Magnétron liga de zinco do puxador da porta que engasga unidades do revestimento de vácuo: A C.C., MF, RF que engasga cátodos para a finalidade do R&D pode obter o monolayer, o filme dielétrico, o filme composto, o semicondutor, camadas múltiplas, o filme composto, e os filmes etc. do dielétrico
Magnétron liga de zinco do puxador da porta que engasga o desempenho técnico das unidades do revestimento de vácuo:
1 pressão final do vácuo: melhore do que os Torr 5.0×10-6.
2. Pressão de funcionamento do vácuo: Torr 1.0×10-4.
3. Tempo de Pumpingdown: de 1 atm a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (a temperatura ambiente, seca, limpa e esvazia a câmara)
4. Metalizando o Al, o Cr, o Sn, o si, SS, o Cu (engasgando) materiais… etc.
5. Modelo de funcionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ completo manualmente
Magnétron liga de zinco do puxador da porta que engasga a estrutura das unidades do revestimento de vácuo
1. Câmara de vácuo
2. Sistema de bombeamento do vácuo de Rouhging (pacote da bomba do revestimento protetor)
3. Sistema de bombeamento do vácuo alto (bomba de difusão)
4. Sistema bonde do controle e da operação
5. Sistema da facilidade de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema do depósito