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| Nome da marca: | ROYAL |
| Número do modelo: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 conjunto |
| preço: | negociável |
| Condições de pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Capacidade de abastecimento: | 6 grupos pelo mês |
Modelo da máquina: RT1200-FCEV
Tecnologia: com PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositar: Si, Cr, alvos de grafite, para gerar campo magnético fechado desequilibrado para alta densidade,filme à base de carbono de elevada uniformidade e excelente resistência à corrosão.
Isto...RT-FCEVO sistema de deposição de pulverização de magnetrão de alto vácuo é um modelo feito sob medida que se refere ao modelo Multi950-R&D que construímos para a Universidade de Xangai.
O processo de revestimento requer várias camadas metálicas diferentes: Ta, Cr, Si,Grafite, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não ferromagnéticos; mais a unidade de fonte de íons,
Melhorar eficientemente a adesão da película em diferentes materiais de substrato com o seu desempenho de gravação por plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono.
Estrutura do equipamento:
Orientação vertical, estrutura octogonal, abertura de 2 portas (frente e traseira) para facilitar o acesso.
Características do equipamento:
Sistema ecológico, sem resíduos perigosos
Alta integração, design modular
Comercializado e normalizado para produção industrial em massa
Fonte de iões extremamente eficiente para forte adesão e elevada ionização
Operação fácil: tela sensível ao toque + controlo PLC, operação por toque único
Com o software da Royal Technology, os parâmetros do processo podem ser programados, salvos e reproduzidos
Projeto especial do sistema de carrossel para deposição altamente uniforme
Alta produtividade e estabilidade, trabalhando 24 horas por dia, 7 dias por semana
Para revestimento de placas de uma ou duas faces, flexíveis, compatíveis com vários tamanhos
Performance da película de revestimento PVD e PECVD:
Para melhorar a condutividade da superfície
Alta resistência à corrosão
Alta resistência ao desgaste
Alta dureza
Películas de composição hidrofóbicas e outras películas funcionais
Disponível para revestimentos compostos: películas metálicas e não metálicas
Faixa de espessura da película de 100 nm a 12 μm, tolerância à espessura ± 5% Forte adesão
Tratamento de endurecimento da superfície de peças de baixa temperança
| Modelo | RT-FCEV | |||||||||
| Material | Aço inoxidável (S304) | |||||||||
| Tamanho da câmara | Φ1250*1350 mm (H) | |||||||||
| Tipo de câmara | Estrutura frontal e traseira de duas portas, vertical | |||||||||
| Embalagem única de bomba | Bomba de vácuo de pistão rotativo | |||||||||
| Bomba de vácuo de raízes | ||||||||||
| Bomba molecular de suspensão magnética | ||||||||||
| Bomba de válvula rotativa (bomba de retenção) | ||||||||||
| TECNOLOGIA | Pulverização por magneto, fonte de íons PECVD | |||||||||
| Alimentação elétrica | Fornecimento de energia de pulverização + Bias Fornecimento de energia + Fonte de íons | |||||||||
| Fonte de depósito | 2 pares de cátodos de pulverização DC/RF + (2 pares de cátodos sobressalentes) + Fonte de íons | |||||||||
| Controle | PLC+Touch Screen | |||||||||
| GAS | Medidores de caudal de massa de gás (Ar, N2, C2H2, O2) Argão, Azoto e Etina, Oxigénio | |||||||||
| Sistema de segurança | Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos | |||||||||
| Frigorificação | Água de arrefecimento | |||||||||
| Limpeza | Descarga de brilho/Fonte de íons | |||||||||
| Power Max. | 150 kW | |||||||||
| Consumo médio de energia | 75 kW | |||||||||
Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.
