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| Nome da marca: | ROYAL |
| Número do modelo: | Multi950 |
| MOQ: | 1 conjunto |
| preço: | depends on |
| Condições de pagamento: | L/C,T/T |
| Capacidade de abastecimento: | 10 conjuntos por mês |
Ta integração das tecnologias PVD e PECVD numa máquina de revestimento híbrida proporciona uma série de vantagens que podem conduzir a uma melhoria da qualidade, versatilidade, controlo, eficiência e economia de custos do revestimento,personalização, e sustentabilidade ambiental.
O Multi950 é o marco dos sistemas de revestimento de design avançado para a Royal Tech.A sua dedicação criativa e altruísta são valores ilimitados e inspiraram a nossa equipa..
No ano de 2018, tivemos outro projeto de cooperação com Pressor Chen, a deposição de material C-60 por
Método de evaporação térmica por indução, agradecemos sinceramente ao Sr. Yimou Yang e ao Professor Chen a liderança e instrução em cada projeto inovador.
Propriedades da máquina Multi950:
Compatível,
Projeto modular padrão,
Flexível,
Confiável,
Câmara octal,
Estrutura de duas portas para facilitar o acesso,
Processos PVD + PECVD.
Características do projeto:
1Flexibilidade: os catodos de arco e de pulverização, as flanges de montagem de fontes iônicas são padronizadas para troca flexível;
2- versatilidade: pode depositar uma variedade de metais comuns e ligas; revestimentos ópticos, revestimentos duros, revestimentos moles, revestimentosPelículas compostas e películas lubrificantes sólidas nos substratos de materiais metálicos e não metálicos.
3- Design reto para a frente: estrutura de duas portas, abertura dianteira e traseira para facilitar a manutenção.
A máquina Multi950 é um sistema de deposição de vácuo personalizado de múltiplas funções para P&D.Finalmente confirmámos o projeto e as configurações para cumprir as suas aplicações de I&D.Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com processo PECVD, revestimentos duros em ferramentas e filme óptico com cátodo de pulverização.Desenvolvemos 3 outros sistemas de revestimento depois disso.:
1. Revestimento de placas bipolares para veículos elétricos a célula de combustível- FCEV1213,
2. Cobre cerâmico diretamente revestido- DPC1215,
3Sistema de pulverização flexível RTSP1215.
Estes 4 modelos de máquina são todos com câmara Octal, desempenho flexível e confiável são amplamente utilizados em várias aplicações.Para satisfazer os processos de revestimento, são necessárias várias camadas metálicas diferentes.: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não-ferromagnéticos;
Além da unidade de fonte de íons, aumenta de forma eficiente a adesão das películas em diferentes materiais de substrato com o seu desempenho de gravação por plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono.
Multi950 - Especificações técnicas
| Descrição | Multi-950 |
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Câmara de deposição (mm) Largura x Profundidade x Altura |
1050 x 950 x 1350 |
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Fontes de deposição |
1 par de catodos de pulverização MF |
| 1 par de PECVD | |
| 8 conjuntos de cátodos de arco | |
| Fonte de íons lineares | 1 conjunto |
| Zona de uniformidade do plasma (mm) | φ650 x H750 |
| Carrossel | 6 x φ300 |
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Potências (KW) |
Bias: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Arco: 8 x 5 | |
| Fonte de íons: 1 x 5 | |
| Sistema de controlo de gás | MFC: 4 + 1 |
| Sistema de aquecimento | 500°C, com controlo PID do par térmico |
| Válvula de entrada de vácuo elevado | 2 |
| Bomba turbomolecular | 2 x 2000L/S |
| Bomba de raízes | 1 x 300 L/S |
| Bomba de válvulas rotativas | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Impressão (L x O x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Potência total (KW) | 150 |
As equipas de serviço e engenharia da Royal Tech fornecem suporte ao cliente no local, entre em contato conosco para suas aplicações!
