Ouro, prata e cobre Máquina de deposição por pulverização cerâmica PVD,

Equipamento de deposição de pulverização de ouro Au, Máquina de deposição de PVD de prata/ouro, Sistema de pulverização de PVD de filme condutor 

Resumo:O processo de DPC- Direct Plating Copper é uma tecnologia avançada de revestimento aplicada às indústrias de LED / semicondutores / eletrônicos.Deposição de película condutora de cobre sobre óxido de alumínio (Al2O3), substratos de AlN pela tecnologia de pulverização a vácuo PVD, em comparação com a fabricação tradicional

Métodos: DBC LTCC HTCC, o custo de produção muito mais baixo é a sua característica elevada.

A equipa de tecnologia da Royal ajudou o nosso cliente a desenvolver com êxito o processo DPC com tecnologia de pulverização PVD.

Palavras chave:Partes cerâmicas de vedação, processo DPC, sistema de pulverização PVD de cobre, chips cerâmicos LED com revestimento de cobre, Al₂O₃, placas de circuito cerâmico AlN, placas de Al2O3 em LED, semicondutores

Aplicações deDPC:

· HBLED

· Substratos para células de concentradores solares

· Embalagens de semicondutores de potência, incluindo controlo de motores automotivos

· Eletrónica de gestão de energia dos automóveis híbridos e eléctricos

· Pacotes para RF

· Dispositivos de micro-ondas

Desempenho da tecnologia DPC

Vários materiais de substrato: Cerâmica (Al3O2, AlN), Vidro e Si

• Custo de produção muito mais baixo.
• Excelente gestão térmica e transferência de calor
• Alinhamento preciso e desenho de padrão
• Adesão de metalização robusta

Características:

• "Técnicas de detecção" para a detecção de partículas de partículas de partículas.
• Forte adesão com dispositivo de aquecimento e limpeza da fonte de plasma;
• Design compacto e com fácil acesso para obras de modernização e manutenção.
• Totalmente automática, PLC + Touch Screen, sistema de controlo de um toque.
• Alta eficiência com menor consumo de energia, poupança máxima de 50% dos custos de produção.

Especificações técnicas

• Desempenho

1Pressão de vácuo final: superior a 9,0*10^-5Pai!

• Pressão de vácuo de base: 3,0*10^-2Pai!

3. Tempo de bombeamento para baixo: de atm para 1.0 × 10^-3Pa≤15 minutos (temperatura ambiente, câmara seca, limpa e vazia)

4Fonte de deposição: catodos de pulverização de magnetrão da Gencoa, catodos de arco dirigido, fonte de íons

5Modelo de funcionamento: automático completo/semiautomático/manual

6- aquecimento: a partir de temperatura ambiente até 500°C,

9Fonte de iões para o processo PECVD e PA PVD.

• Estrutura

A máquina de revestimento a vácuo contém o sistema completado chave listado abaixo:

1Câmara de vácuo

1.1 Tamanho: Diâmetro interno: 1200 mm

Altura interna: 1500 mm

1.2 Material: Câmara de vácuo SUS304

Portas e flanges SUS304

Estrutura de reforço da câmara: aço leve SS41, com tratamento de superfície de acabamento pintado.

Chassi de câmara SS41 de aço leve com tratamento de superfície de acabamento pintado.

1.3 Escudo de câmara: SUS304

1.4 Vista da Janela: 2 na porta

1.5 Válvula de ventilação de câmara de vácuo (incluindo silenciador)

1.6 Portas: material SUS304

2Roubo.GanhandoSistema de bombeamento a vácuo:

Bomba de vácuo de vela rotativa de óleo + Bomba de retenção
 

3Sistema de bombeamento a vácuo elevado: Bomba molecular de suspensão magnética - 2 conjuntos

4Sistema elétrico de controlo e operação - Sistema de operação PLC+ touch screen:

Fornecedores:

PLC: Mitsubishi + touch screen (feito na China)

Componentes electrónicos: Schneider, OMRON.

Sistema de protecção de segurança:Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos (água, corrente de gás, temperatura, etc.)

Sistema de processos de revestimento: Automatização e controlo de processos.

4.1 Circuito principal: interruptor sem fusível, interruptor eletromagnético, C/T em série

4.2 Fornecimento de alimentação: Potência de pulverização CC/MF + Potência de arco DC + Fornecimento de alimentação Bias

4.3 Sistema de controlo da deposição

4.4 Sistema de operação: Ecrã táctil + PLC, controlo de receitas e registo de dados, desligamento automático, evacuação automática, revestimento automático

4.5 Sistema de medição

Pressão de vácuo: Medidor de vácuo: Pirani + Medidor de Penning + Medidor de vácuo de gama completa -- Marca Europa

Dispositivo de medição de temperatura: termocouple
MFC: Controlador de caudal de massa (quatro vias ),

4.6 Sistema de alarme: pressão de ar comprimido, fluxo de água de arrefecimento, mau funcionamento

4.7 Indicador de carga de potência: indicador de tensão e de corrente de carga

5Sistema de deposição

5.1 Fonte de deposição: catodos de pulverização + fontes de arco + fonte iônica

5.2 Material de deposição: cobre, alumínio, cromo, prata, ouro, SS, titânio, etc.
 

6.Subsistema

6.1 Sistema de controlo da válvula de ar comprimido

6.2 Sistema de água de arrefecimento:tubo de escoamento de água e sistema de válvulas de interrupção

7Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5 a 8 kg/cm2

Água de arrefecimento: temperatura de água: 20°C a 25°C, 200 litros/minuto,
Pressão de entrada de água: 2 a 3 kg/cm2,

Potência: 3 fases 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, consumo médio de energia: 60KW

Área de instalação: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Esgoto: ventilação para bombas mecânicas

Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.