Sistema do depósito de vácuo de PVD+PECVD, revestimento do filme de DLC pelo processo de PECVD

Tecnologia Real Multi950
Máquina de deposição a vácuo PVD + PECVD

A máquina Multi950 é um sistema de deposição a vácuo de múltiplas funções personalizado para P&D.

Após intensos intercâmbios com a equipa da Universidade de Xangai, liderada pelo Professor Chen, finalmente confirmámos o projecto e a configuração para cumprir as suas aplicações de I&D.Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com o processo PECVDCom base neste conceito de concepção da máquina piloto, desenvolvemos posteriormente outros 3 sistemas de revestimento:

1. Revestimento de placas bipolares para veículos elétricos a célula de combustível- FCEV1213

2. Cobre cerâmico diretamente revestido- DPC1215

3Sistema de pulverização flexível - Sistema de chapeamento de ouro de PCB de cobre

Estas três máquinas possuem todas uma câmara octogonal, que permite um desempenho flexível e fiável em várias aplicações.,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não ferromagnéticos.Melhora eficientemente a adesão das películas em diferentes materiais de substrato com o seu desempenho de gravação por plasma e, o processo PECVD para depositar algumas camadas de carbono.

O Multi950 é o marco dos sistemas de revestimento de design avançado da Royal Technology.Obrigado aos estudantes da Universidade de Xangai e ao Professor Yigang Chen que os liderou com sua dedicação criativa e altruísta., fomos capazes de converter a sua informação valiosa numa máquina de última geração.

No ano de 2018, tivemos outro projeto de cooperação com o Professor Chen,
A deposição do material C-60 pelo método de evaporação térmica por indução.
O Sr. Yimou Yang e o Professor Chen foram fundamentais para estes projetos inovadores.

Vantagens técnicas

• Uma pegada compacta
• Projeto modular padrão
• Flexível
• Confiável
• Estrutura de câmara octogonal
• Estrutura de duas portas para fácil acesso
• Processos PVD + PECVD

Características do projeto

1Flexibilidade: os cátodos de arco e pulverização, as flanges de montagem de fontes de íons são padronizadas para troca flexível

2Versatilidade: pode depositar uma variedade de metais comuns e ligas; revestimentos ópticos, revestimentos duros, revestimentos moles, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentos de borracha, revestimentosPelículas compostas e películas lubrificantes sólidas nos substratos de materiais metálicos e não metálicos

3- Design reto para a frente: estrutura de duas portas, abertura dianteira e traseira para fácil manutenção

Especificações técnicas

Modelo: Multi-950

Câmara de deposição (mm)

Diâmetro x Altura: φ950 x 1350

Fontes de deposição: 1 par de catodos de pulverização MF

1 par de PECVD

8 conjuntos de cátodos de arco

1 conjunto Fonte de íons lineares

Zona de uniformidade do plasma (mm): φ650 x H750

Carrossel: 6 xφ300

Potências (KW) Bias: 1 x 36

Potência de pulverização MF (KW): 1 x 36

PECVD (KW): 1 x 36

Arco (KW): 8 x 5

Fonte iônica (KW): 1 x 5

Sistema de controlo de gás MFC: 4 + 1

Sistema de aquecimento: 18 kW, até 500°C, com controlo PID do par térmico

Válvula de saída de vácuo elevado: 2

Bomba molecular turbo: 2 x 2000L/S

Bomba de raízes: 1 x 300L/S

Bomba de válvulas rotativas: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h

Impressão (L x O x H) mm: 3000 * 4000 * 3200

Potência total (KW): 150

Layout