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| Nome da marca: | ROYAL |
| Número do modelo: | RTSP |
| MOQ: | 1 conjunto |
| Capacidade de abastecimento: | 10 conjuntos por mês |
Máquina de revestimento por pulverização PVD de tântalo, películas de tântalo depositadas por pulverização por magneto DC, revestimento PVD de tântalo
O tântalo é mais amplamente utilizado na indústria eletrônica e como revestimento protetor em muitas indústrias devido à sua boa resistência à erosão.
Os filmes de tântalo pulverizados são amplamente utilizados na
1- indústria da microelectrónica, uma vez que as películas podem ser pulverizadas de forma reativa e, assim, a resistividade e o coeficiente de temperatura da resistência podem ser controlados;
2Instrumentos médicos como implantes corporais pela sua elevada biocompatibilidade;
3- revestimentos de peças resistentes à corrosão, tais como termo-poços, corpos de válvulas e elementos de fixação;
O tântalo pulverizado pode também ser utilizado como uma barreira de resistência à corrosão eficaz se o revestimento for contínuo, defeituoso e aderente ao substrato..
RTAS1000 Vantagens técnicas
1Plug-in Sistema de design integrado para instalação rápida
2. Siemens PLC,CPU; com hardware de operação e controlo de PC industrial
3Disponível para monitorização e diagnóstico remoto.
4. Flexível, pronto para atualização
5Múltiplos cátodos para velocidade de deposição rápida
Mais benefícios da máquina:
Design robusto, qualidade estável, ciclo rápido, tempo de ciclo rápido, alta velocidade de deposição
| Configurações principais | |
| Modelo | RTAS1000 |
| TECNOLOGIA | Pulverização por magnetron DC + revestimento por arco catódico |
| Material da câmara | Aço inoxidável (S304) |
| Tamanho da câmara | Φ1000*1000 mm (H) |
| Tipo de câmara | Forma D, câmara cilíndrica |
| RECK DE ROTAÇÃO e SISTEMA JIG | Sistema de condução por satélite ou sistema de condução central |
| Fontes de energia | Fornecimento de energia de pulverização em corrente contínua: 2 ~ 4 conjuntos Bias Fornecimento de energia: 1 conjunto Arco Fornecimento de energia: 11 conjuntos |
| MATERIAL DE DEPÓSITO | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu, etc. |
| Fonte de depósito |
Cátodos de pulverização plana + cátodos de arco circular Observação: pode utilizar-se um pulverizador de corrente contínua cilíndrico |
| Controle | PLC ((Controller lógico programável) + Ecrã táctil (modelos de operação manual + automática + semi-automática) |
| Sistema de bombagem | Bomba de válvula rotativa: SV300B - 1 conjunto (Leybold) |
| Bomba de raízes: WAU1001 - 1 conjunto (Leybold) | |
| Bomba de retenção: D60C - 1 conjunto (Leybold) | |
| Bomba molecular de suspensão magnética: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Controlador de fluxo de massa de gás | 4 canais, fabricado na China, modelo digital Seven Star (série CS, ) (Ar, N2, O2, C2H2) |
| Método de vácuo | Modelo: ZDF-X-LE, fabricado na China |
| Sistema de segurança | Numerosos bloqueios de segurança para proteger os operadores e os equipamentos |
| Aquecimento | Caldeiras: 20 kW. Temperatura máxima: 450°C |
| Frigorificação | Frigorífico industrial (água fria) |
| Power Max. | 100 kW (aprox.) |
| Consumo médio de energia | 45 KW (aprox.) |
| Peso bruto | T (aproximadamente) |
| PRENTA DE PÉ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Energia ELÉTRICA | Linha AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
Cátodos de pulverização cilíndrica Cátodos de pulverização plana
Por favor, entre em contato conosco para mais especificações, a Royal Technology tem a honra de lhe fornecer soluções totais de revestimento.
Faça o download da brochura aqui:Sistema de deposição por pulverização de magneto.pdf
Aplicação do sistema de deposição por pulverização magnética...
